Neuer GEMÜ CleanStar High

Jun 04, 2023

GEMÜ C60 CleanStar, pneumatisch betätigt und GEMÜ C67 CleanStar, manuell betätigt, Antriebsgröße 4. (Bildquelle: GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG):

Die Anforderungen der Halbleiterindustrie an Ventildesigns wachsen ständig. Immer kleinere Strukturen auf den Mikrochips erfordern Flüssigkeiten höchster Reinheit, die frei von Partikeln sind. Gleichzeitig ist in den letzten Jahren aufgrund der immer größer werdenden Waferdurchmesser die benötigte Menge an Prozessmedien gestiegen. Beiden Entwicklungen trägt GEMÜ mit der Einführung der neuen Antriebsgröße Rechnung. Die neue Antriebsgröße 4 ist in den Nenngrößen 1½“ und 2“ erhältlich und die medienberührten Teile bestehen aus PFA und PTFE TFMTM. Diese Kombination ermöglicht den Transport großer Medienmengen und den Einsatz hochreiner Ventilkonstruktionen auch auf der Versorgungs- und Verteilungsebene der Halbleiterproduktion. Das kompakte GEMÜ CleanStar-Design sorgt gleichzeitig für ein hervorragendes Durchfluss-Fußabdruck-Verhältnis und ersetzt künftig die Membranventile GEMÜ 600 HP und GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: Ein bewährtes Design erobert neue Anwendungen Die Vorteile der GEMÜ CleanStar-Serie sind zahlreich. Die zentrale Überwurfmutter stellt eine zuverlässige Verbindung zwischen Antrieb und Ventilkörper her, und das völlig ohne den Einsatz von Metallteilen. Das Wehrdesign (Wehrstil) sorgt für eine spannungsarme Medienführung, minimiert Toträume und gibt keine Fließrichtung vor. Durch den Einsatz von PVDF weisen die Außenteile eine sehr gute chemische Beständigkeit auf. Eine Lecksuchbohrung und Langlöcher zur flexiblen Montage der Ventile sind bereits im Gehäusedesign integriert. Die Serie verfügt außerdem serienmäßig über eine Positionsanzeige. Bei der neuen Antriebsgröße 4 wurden alle diese Vorteile maßstabsgetreu übernommen. Durch die größeren Nennweiten nutzt GEMÜ bereits auf der Versorgungs- und Vertriebsebene (Anlage und Subfertigung) alle genannten Produktvorteile für seine Kunden. der Halbleiterproduktion.

Quelle: GEMÜ Gebr. Müller Apparatebau GmbH & Co. KG